本中心奈米元件製程設備及製程
自96年2月1日起開放學術界與產業界申請使用
奈米科技為本世紀最重要之新興科技，為我國國家型計畫之重點科技，在產學界研究者眾，然由於儀器設備價格昂貴且維護不易。鑑於此，本中心為促進我國在奈米科技之發展，即日起特開放現有之聚焦離子束與電子束系統、電子束直寫系統，供產學界人士使用，說明如下。
- 開放項目：聚焦離子束與電子束系統及電子束直寫系統。
- 開放對象：分為學術單位與產業界。
- 開放方式：採委託操作及自行操作兩種 (自行操作者需通過本中心實驗室安全、設備基礎訓練與檢定)。
- 開放時段：星期一到星期五分早 (8:00–12:00 )、中 (13:00–17:00)、晚 (17:30–20:30) 三個時段，每次申請最少以一個時段為基數。
- 聯絡窗口：
企劃推廣組統一窗口 / 奈米技術組陳聖元先生
電 話：03-5779911-550
傳 真：03-5781227
聯絡地址：新竹市科學園區研發六路 20 號 - 其他：儀器規格、收費標準與申請須知請參考本中心網站 http://www.itrc.org.tw。
