儀器科技研究中心簡介
技術卓越
前瞻技術
本中心目前設有光電遙測、奈米及真空技術研究室，針對符合國家科技發展方向之 各項前瞻技術進行研究。近年來除已成功研製出「植被及國土變遷觀測儀」、 「微型生醫檢測系統」及「微型光譜即時偵測器」等高精密儀器外，並積極與國外 著名研究機構及廠商合作，共同開發新世代儀器設備，對於提昇國內尖端儀器技術水準 不遺餘力。
東勢地區彩色及假色影像
集集地區立體空照圖
遙測技術
技術能量
研究成果
發展目標
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 高光譜儀工程體 |
植被及國土變遷觀測儀
光度計及影像儀
蕃薯號微微衛星酬載
奈／微米技術
技術能量
研究成果
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 奈／微機電系統 |
發展目標
- 奈／微米技術與光學微機電系統於生醫、光電、航太、環保之應用
聚焦離子束與電子束系統
場發射掃描式電子顯微鏡
電子束微影系統
感應耦合電漿離子蝕刻系統
真空技術
技術能量
- 太空及光學薄膜製鍍系統與製程技術
- 真空流量與 CNLA 標準
- 薄膜特性量測
- 真空系統診斷與測漏
研究成果
- 乾式真空幫浦 TBP-08
- 脈衝雷射蒸鍍法成長鐵電薄膜技術
- 奈米球模版技術
- 低溫透明導電氧化物薄膜技術
- 孔口法高真空檢校系統
- 半導體製程腔體漏氣微型光譜即時偵測器
- III-V 族氮化物半導體高真空化學束磊晶製程設備
發展目標
- 高解析度光電影像模組光學薄膜
- 高真空系統研製
- 奈米材料及功能性元件製程與檢測技術
高真空微流量檢測系統
光學鏡片鍍膜系統
離子輔鍍多靶式平行濺鍍系統
干涉相移式薄膜應力量測系統
