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AOI 平台光源鏡頭設計

本案依面板廠商需求,針對其 AOI 量測設備中各式光學系統之同軸光源進 行參數優化設計,以達到 90%以上均勻光,並修正經物鏡後聚焦點之光學像差 等,以達到其量測設備整體量測解析度。[DM下載]