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負責人：蘇健穎先生 03-5779911分機586、529（E-Mail：sujames@pidc.gov.tw） 代理人：林宇軒先生 分機 606、529（E-Mail：marklin@pidc.gov.tw） |
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| 儀器中文名稱 原子力顯微鏡（掃描探針顯微鏡） | ||||||||||||||
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儀器英文名稱 Atomic Force Microscope (Scanning Probe Microscope) |
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儀器英文簡稱 AFM（SPM） |
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| 儀器廠牌 di（Digital Instruments） | ||||||||||||||
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儀器型號 Dimension3100 |
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採購日期 88年2月 |
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儀器簡介
建置在本中心之原子力顯微鏡，其硬體基本規格如下：本機型為Digital Instruments之Dimension3100 SPM。具備高倍率CCD camera（410-1845x）輔助掃描探針前段定位功能，XY掃描影像達100mm。依據材料特性與量測性質，其操作模式分為Contact Mode、Tapping Mode、Non-contact Mode與Lift Mode。除了一般表面形貌與表面粗糙度檢測之外，檢測技術另有Lateral Force Microscopy、Magnetic Force Microscopy、Force Modulation、Phase Detection、Force Imaging、Electric Force Microscopy以及Conductive Atomic Force Microscopy，為廣泛應用於奈米級材料特性與元件的檢測技術之一。 |
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儀器主要規格
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中心技術能量與產出 1、表面形貌、表面粗糙度檢測技術 一般檢測分析:奈米尺度之表面形貌2D、3D影像、截面、粒徑及粗糙度分析等 |
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服務方式：技術服務（服務規格與費用如後） |
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2、側向力顯微術
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4、導電性原子力顯微術
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委託檢測收費標準與規定 服務項目規格： 試片表面必須處理乾淨，背面平坦以利真空吸附固定試片。 試片尺寸：直徑≦ 8 inch（200mm）；厚度≦ 0.5 inch（12mm） 表面粗糙度：< 4μm
收費標準： 一般檢測費用每小時為 2000元。（data為電子檔格式）
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