近場光學檢測實驗室(Near Field Optical Microscopy Laboratory)

      –近場光學顯微儀(Near Field Optical Microscope)

奈米表面檢測實驗室(Scanning Probe Microscope Laboratory)

      –原子力顯微儀(Atomic Force Microscope)

微奈米系統實驗室(MEMS and NEMS Laboratory)

      –電鑄設備

      –表面輪廓測量儀(Zygo)

      –熱壓模成型機(Hot Embossing system)

      –感應耦合電漿離子矽蝕刻系統(ICP System)

  –準分子雷射系統(Excimer Laser Micro Machining System)

微光學量測實驗室(Micro Optics Laboratory)

      –光譜分析儀(Optacal spectrum analyzer)

      –藍光雷射(488nm)、綠光雷射(532nm) 、紅光雷射(635nm)

生醫微系統實驗室(Bios-MEMS Laboratory)

      –蛋白質分析系統 (Protien  Analysis System)

      –毛細管電泳系統 (Capillary Electrophoresis System)   

電顯室(Field Emission Laboratory)

      –掃描式電子顯微鏡(SEM)

黃光室(Lithography Laboratory)     

      –雙束聚焦式離子顯微鏡(FIB/SEM)

      –光罩對準曝光系統(Mask Aligner System)

      –電子束微影系統(E-Beam Lithography system)