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負責人 林宇軒先生 03-5779911分機606 |
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儀器中文名稱 近場光學顯微儀 |
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儀器英文名稱 Near Field Optical Microscope |
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儀器英文簡稱 NSOM |
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儀器廠牌 DI Corporation |
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儀器型號 Multimode AFM |
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採購日期 86年3月28日 |
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儀器簡介 |
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建置在本中心之近場光學顯微儀，乃改裝於商用型掃描探針顯微儀，其硬體之組成如下：含有商用多模式工作掃描探頭，可進行接觸式與輕敲式之原子力、磨擦力、及電、磁力顯微術、穿隧電流顯微術等等。另外包含自行設計及特製之近場光學掃描探頭，搭配光纖探針製作技術、石英音叉感測元件之接合設備、力學式回饋之電子電路模組等…將可進行近場光學顯微、近場光譜、及高解析空間光場分佈之量測。 |
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| 儀器主要規格 | |||||||||
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Standard SPM system：
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Scanner：
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SPM Head and Tipholder： |
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NSOM head： |
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Shear force sensing |
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Tuning fork sensing |
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| Fiber puller： | |||||||||
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(Model P-2000, Sutter Instrument) arc puller |
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Fiber tip and Tuning fork assembling system： |
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| 中心技術能量與產出 | |||||||||
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1、標準原子力顯微技術。 檢測應用：樣品之表面形貌檢測。 可檢測樣品規格(Image size)：（依掃描器scanner會有不同） 樣品長寬(XY) : <200µm 垂直落差(Z) : <10µm 服務方式：目前改採其他機台進行此功能量測。
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2、標準磁力及摩擦力顯微技術。 檢測應用：樣品之表面形貌檢測，並同步進行磁力或摩擦力量測。 可檢測樣品規格(Image size)：同上。 服務方式：委託研究計畫。
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3、標準穿隧電流顯微技術。 檢測應用：金屬樣品之表面原子級形貌檢測。 可檢測樣品規格(Image size)：同上。 服務方式：委託研究計畫。
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4、近場光學顯微技術 檢測應用：樣品之表面形貌檢測，並同步進行近場光學量測。 可檢測樣品規格(Image size)：同上。 服務方式：委託研究計畫。
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| 5、光纖探針製作 | |||||||||
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製程應用：標準之光纖探針。 製程規格： ☆ 單模及多模光纖。 ☆ 針尖金屬厚度：5~100nm。 ☆ 針尖孔穴大小：20~100nm。 ☆ 光纖針尖曲率半徑：<10nm。 服務方式：委託製作。
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| 6、彎曲式光纖探針製作。 | |||||||||
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製程應用：具懸臂之近場光學探針。 製程規格：不同曲角之光纖探針。 服務方式：委託製作。
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7、石英音叉與光纖探針黏著技術。 製程應用：商用音叉感測之探針組件。 製程規格：剪力方式黏著、輕敲方式黏著。 服務方式：委託製作。
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上述部分資料參考於：
Di Multimode SPM部分儀器影像取自於： Di MultimodeTM SPM Instruction Manual.
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