A. 光源：
l Ar+藍光雷射( 488nm), 20mW
l HeNe紅光雷射(635nm), 5mW
l 可調波長雷射（Tunable Laser）:
           a. 650nm±5nm
           b. 1500nm±15nm
           c. C+L band（1500nm∼1600nm）
l 寬頻光源ASE （1520nm∼1570nm）

B. 雷射光束分析儀器
l 雷射光束品質分析儀（Laser beam analyzer）
l VIS/NIR高斯光束M2分析儀（Beam Propagation analyzer）

C. 光纖對準檢測系統（Optical fiber alignment measuring system ）

D. 光譜分析儀器
l NIR光譜分析儀( NIR Optical spectrum analyzer )
l VIS光譜分析儀( VIS Optical spectrum analyzer )

E. 顯微觀測系統（Microscopes ）
l 倒立式顯微鏡（Inverted Microscopes）
l 輪廓測量顯微鏡（Measuring Microscope）

F. 多光束多功能微奈米光學檢測系統（Multi light source and        multifunction micro/ nano optics measuring system ）

G. 設計分析平台
l 硬體
         a. Compaq DEC Workstation
         b. SUN Blade 1000 Workstation
         c. SUN Sparc 20 Workstation
         d. ASUS Dual Xeon PC Server ( PC CLUSTER )
l 軟體
        a. Matlab
        b. Fortran
        c. Zemax
        d. Gsolver
        e. PC-Grate
        f. BeamPROP
        g. FimmWave
        h. Virtuoso