負負責人：朱念南 分機：401 E-Mail：niann@pidc.gov.tw

儀器中文名稱   場發射掃描式電子顯微鏡

    建置在本中心之SEM，是指利用電磁場偏折、聚焦電子及電子與物質作用產生繞射、散射原理來研究物質的構造及微細結構的精密儀器。

1.1       Resolution

1.  5nm

(at accelerating voltage of 15kV, working distance of 5 mm)

(at accelerating voltage of 1kV, working distance of 5 mm) 

1.2 Magnification：20x~250,000x        

1.3   Electron Optics

        (1) Electron gun：Cold-cathode field emission electron gun

(2) Accelerating voltage：0.5 to 30 kV

1.4 Specimen Stage

•     X movement：0 to 100mm

•     Y movement：0 to 50mm

•     Z movement：0 to 35mm

•     Tilt：  -5∘to 60∘

•     Rotation： 360∘

•     Specimen size：102mm max.

1.5 Vacuum System

•     Principle：Full-auto pneumatic valve control evacuation

•     Ultimate vacuum：1x10^-7Pa (electron gun),1x10^-4Pa (specimen chamber)