白光干涉式表面輪廓儀

儀器中文名稱白光干涉式表面輪廓儀

儀器英文名稱 zygo

儀器廠牌 zygo

儀器型號 NEW VIEW 5000

儀器簡介

本檢測系統係利用白光干涉理論為基礎進行表面輪廓測量。運用干涉儀可以量測被測波面(test wavefront)與參考波面(reference wavefront)間的相位差。若參考波面由標準平面反射產生，而被側波面由帶有高低起伏的待測面反射產生，則被測波面與參考波面間的相位差就是反映此待測物的表面輪廓，在本系統的光路中引入相移技術(phase-shifting technique)來求得上述的相位差，利用相位重建技術(phase unwrapping techniqur)來恢復重建連續分布的相位，進而推算出三維的表面輪廓結構。

本系統適用於表面有高低起伏的輪廓結構與其表面粗糙度測量，可應用於反射式與穿透式材料。

儀器主要規格

垂直方向解析度0.1nm

水平方向解析度0.45~11.8um

Light	filtered white light, tungsten halogen lamp
Measurement Technique	scanning white light interferometry
Imaging and Sample Viewing
Image Zoom	variable 0.4X to 2.0X, with detents
Viewing	9 in. video monitor and on-screen display
Measurement Array
selectable	up to 640 x 480 pixels
Focus	manual or automatic
Performance
Vertical Resolution	0.1 nm
Maximum Vertical Step Height	100 µm standard, up to 5 mm optional
Lateral Resolution	1X：11.8 mm 5X：2.72 mm 20X：0.88 mm 100X：0.45 mm	2.5X：4.72 mm 10X：1.18 mm 50X：0.64 mm
Sample Specifications
Type	opaque and transparent surfaces
Thickness (max.)	4 in. (104 mm)
Roughness (max.)	≤ 100 µm Rp
Reflectivity	4 to 100 %
Z-Drive (Focus)
Motor	DC brushless, microstepper
Drive	leadscrew
Range	4 in. (104 mm)
Resolution	4 µin. (0.1 µm)

收費標準與規定

一小時2000元，外加一張圖200元