微可調變光柵元件
Micro Tunable-Vertical-Grating
簡介
本中心以光學微機電系統 (Optical-MEMS) 為基礎，提供一新穎的微可調變垂直光柵 (Tunable-Vertical-Grating) 之設計與製造技術。該元件利用節距 (pitch) 之線性調變的方法，使光柵產生不同分光效果，易於調整繞射光之頻譜範圍，並避免了旋轉式光柵之機構複雜性。該元件並易於整合在矽基同平面光學平台上，可大幅減少對準與組裝問題，使系統具有積體化、低成本等優勢。
技術能量
微可調變垂直光柵之電子顯微鏡照片
- 可調變光柵機構設計
- 雙穩態機構設計
- 大行程微致動器技術
- 光柵與光路系統設計技術
- 微光機電系統晶片加工技術
規格
- 節距範圍：5 – 12 µm (typical)
- 光柵結構深度：100 µm (typical)
- 光柵焰型角度 (blaze angle)：不限
- 驅動電流：0 – 200 mA (typical)
- 適用波長：VIS、IR
應用領域
- 光譜學：微型光譜儀、微型單光儀
- 光通訊：可調式濾波器、外腔可調式雷射、多工與解多工器
