奈／微米光學多功能檢測系統
Nano / Micro Optics Versatile Measuring System
簡介
此整合型檢測系統，其功能同時包含多種檢測與照明的光源、光學顯微取像、紅外光對準、近場 Fresnel 繞射、遠場 Fraunhofer 繞射、螢光光譜檢測、雷射捕獲檢測、各種被動 (紅外光或可見光) 元件光學特性檢測。本系統克服一般檢測儀器對光害敏感及系統繁複不易整合等問題，尤其進行紅外光元件之檢測，無須加裝紅外光 CCD 即可同時進行觀測、對準與檢測等功能。
技術能量
- 多光束耦合器設計技術
- 多功能整合設計技術
- 奈／微米光學檢測技術
應用領域
- 奈微米光學元件檢測
- 微干涉儀晶片
- 雷射激發生醫螢光檢測系統
- IR/VIS 微透鏡元件
- 紅外或多色光繞射元件
- 薄膜濾光片 (DWDM 元件)
- DWDM 被動元件
- 雷射捕獲檢測
