空級光學薄膜技術
Space Coating Technology
簡介

精密光學鍍膜機

遙測系統大口徑反射鏡
基於衛星所處太空環境要求,本中心以多年光學薄膜技術能量為基礎,進一步發展太空級光學薄膜製程及檢測技術。利用電子鎗蒸鍍系統進行多層薄膜製程,輔以離子源助鍍,並以光學監控系統搭配可程式化自動控制蒸鍍製程,精確控制膜厚,另模擬太空環境進行薄膜測試,以符合太空等級薄膜元件品質。
技術能量
- 離子源輔助電子束鍍膜技術
- 光學監控系統技術
- 太空等級光學元件鍍膜技術
- 太空規格薄膜量測技術
規格
- 監控光學波域:350 – 1100 nm
- 真空度:8 × 10−7 Torr
- 基板溫度:300 °C
應用領域
- 太空遙測光電影像系統
- 衛星酬載大口徑反射鏡
- VCDi (Vegetation and Change Detection imager) 濾光片
![]() VCDi 濾光片光譜 |
![]() 高光譜儀帶通濾光片光譜 |

