真空標準實驗室
Vacuum Standard Laboratory
簡介
本中心真空標準室通過 CNLA 評鑑認可，並依 ISO/IEC 17025 之品質系統運作，提供壓力、氣體流量、抽氣速率及漏率等校正服務。
技術能量
真空壓力計校正
氣體流量校正
微流量校正
氦氣漏率標準器校正
規格
| 認證 | 校正範圍 | 最佳校正能力 | |
|---|---|---|---|
| 代碼項目 | 校正件 | ||
| KD2002 離子真空計 |
真空計 |
1.33E−04 Pa to 1.06E−03 Pa 1.33E−03 Pa to 1.06E−02 Pa 1.33E−02 Pa to 6.67E−02 Pa |
(4.8E−6+0.08992X) Pa (1.1E−5+0.08920X) Pa (5.2E−6+0.08708X) Pa X = 校正點讀值 |
| KD2003 電容式真空計 |
真空計 |
1.33E−01 Pa to 1.06E+00 Pa 1.06E+00 Pa to 1.06E+01 Pa 1.06E+01 Pa to 1.06E+02 Pa 1.06E+02 Pa to 1.06E+03 Pa 1.06E+03 Pa to 1.06E+04 Pa 1.06E+04 Pa to 9.99E+04 Pa |
(4.1E−3+0.01592X) Pa (−3.5E−4+0.01925X) Pa (−4.7E−+0.02063X) Pa (3.8E−1+0.01934X) Pa (−3.6E−1+0.02006X) Pa (−2.6E+0+0.01972X) Pa X = 校正點讀值 |
應用領域
- 建立並推廣真空校正技術
- 提昇業界真空系統技術能力
