透明導電薄膜鍍膜技術
Transparent Conductive Oxide Coating
簡介
可撓性有機電激發光元件
TEM 截面微觀影像
薄膜表面特徵
透明導電薄膜 (TCO) 具有良好導電性及透光性，廣泛應用於液晶顯示器、觸控面板、電磁波防護與太陽能電池等。TCO 薄膜在應用上常鍍製於玻璃基板，但玻璃易碎、且大尺寸玻璃不易製作。本中心應用新式低溫鍍膜製程技術成功開發高透光性與高導電性 TCO 薄膜，將 TCO 薄膜鍍製於塑膠基板，可製作各種尺寸、曲面形狀的可撓 (軟) 性光電元件。
技術能量
- 低溫塑膠 (PET、PC) 透明導電薄膜製程技術
- 表面改質與離子輔助濺鍍製程
- 透明導電薄膜光電性質與微觀分析解決方案
- 新式透明導電薄膜材料開發
規格
- 可見光穿透率 > 85% (@ 400 – 700 nm)
- 電阻率 < 10 Ω⋅cm
- 表面粗糙度 (rms) < 1.4 nm
應用領域
- 平面顯示器用透明導電薄膜基板
- 可撓 (軟) 性導電塑膠基板
- 電磁波遮蔽板
- 抗反射導電薄膜基板
