奈米與微系統技術
近場影像光譜檢測儀
開發目的
- 近場光學顯微模組建構與奈米光譜影像開發。
- 奈米光纖探針的研製與新式探頭開發。
規格與特徵
具備反射式與穿透式之近場光學顯微技術，可同時獲取奈米極表面形貌與近場光學影像。
應用
- 奈米光學顯微技術
- 近場顯微光譜影像量測
- 奈米近場曝光微影技術
近場掃描光學顯微鏡 (Veeco Aurora 3)
儀科中心製作的掃描探針
計畫聯絡人
何符漢
E-mail: fuhanho@itrc.org.tw
具備反射式與穿透式之近場光學顯微技術，可同時獲取奈米極表面形貌與近場光學影像。
何符漢
E-mail: fuhanho@itrc.org.tw
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