真空科技為現代高科技產業之基礎，舉凡半導體、光電及奈米科技等製程設備。民國六十八年，精儀中心結合原有之真空元件研發人力正式成立真空部門，全力進行真空技術的研發，並依實際需求而擬定五項主題作為主要任務:
               1. 研製真空設備
               2. 開發製程技術
               3. 建立檢校能量
               4. 培訓專業人才
               5. 對外提供技術服務
    為求研發業務能順利推展，陸續成立真空鍍膜實驗室、真空檢校實驗室、真空幫浦實驗室、真空設備修護室、薄膜檢測實驗室，構成今日之真空技術研究室，成為我國在真空科技領域中發展最完整的機構，多年來並協助國內真空產業提升技術；以合作研究方式協助國內大學院校從事尖端學術研究；並加強與國際學術科技之交流合作。