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對外技術服務收費標準

一、儀器及元件校驗收費 (未列入之項目依個案核實計算)

(一) 真空校驗

校驗服務項目 計算單位 金額
　1. 真空計
　　(1) 兩點校測 每個感測頭 2000 元
　　(2) 熱偶真空計 每個感測頭 3000 元
　　(3) 派藍尼真空計 每個感測頭 3000 元
　　(3) 電容真空計 每個感測頭 5000 元
　　(4) 冷陰極離子真空計 每個感測頭 5000 元
　　(5) 熱陰極離子真空計 每個感測頭 5000 元
  • 以上係對氮氣作校測，若對其他氣體，則另加 500 元
  • 待測件經功能測試後，判定為無法校驗者，酌收 500 元處理費
　2. 真空測漏 每件 8000–10000 元（特殊個案另議）
　3. 測漏率標準件 每件 6000 元
　4. 真空幫浦抽器速率 每件 10000 元（夾具另計）
※檢附中文校正報告乙份 (英文版加收 1000 元)

註：本中心真空計校正服務使用方法：
校正方法 編號 服務對象
電容式真空計校正程序 81(R4)32-SOP-D101 105 Pa – 10-2 Pa 各式真空計
離子式真空計校正程序 81(R4)32-SOP-D103 10-2 Pa – 10-5 Pa 各式真空計
黏滯式真空計校正程序 81(R4)32-SOP-D104 10-1 Pa – 10-4 Pa 各式真空計

(二) 光學元件量測

校驗服務項目 計算單位 金額
　1. 薄膜折射係數及厚度 每件 1600–2400 元 (接觸式)
•以探針式表面粗糙度儀量測薄膜厚度
3000 元
•以光譜式橢圓偏光儀針對可見光部分量測折射係數及厚度
　2. 薄膜附著力 每件 1600 元（使用刮傷測試儀）
　3. 光學透鏡焦距 每件 1000–2000 元
　4. 光學曲面曲率 每面 1000–2000 元
　5. 光學平行度 每件 1000–2000 元
　6. 光學面精度 每面 1000–2000 元
　7. 光學角度 每個角度 2000–3000 元
　8. 光學穿透率 每件 1500–2500 元
•以分光光譜儀，針對 UV, VIS, NIR 部份進行量測
　9. 光學反射率 每件 1500–2500 元
•以分光光譜儀，針對 UV, VIS, NIR 部份進行量測
　10. 光澤度計 每件 1500–2500 元
　11. X 射線繞射圖譜 每件 1000–1500 元
　12. 高解析度 X 射線繞射圖譜 每件 1500–2000 元
　13. 折射率量測 每件 4000–15000 元
　14. 三次元量測 每小時 2000 元
※光學元件量測僅提供量測數據，如需檢測報告另收 500 元。

（三）光學鏡組及系統參數量測

服務項目 計算單位 金額
　1. 鏡頭焦長量測 每個 2500 元
　2. MTF 量測 每個角度 單一波長 1800–3000 元 (λ = 546.1 nm)
三波長 3000–4000 元 (λ = 450, 546.1, 650 nm)
(夾具另計)
　3. 鏡組畸變檢測 每件 基本 4000–6000 元
每 5 度量取一次，5 個視場角
5 點以上另議 (夾具另計)
　4. 鏡組色差檢測 每件 3000 元
　5. 光輻射度檢測 每件 基本 5000 元，量測 6 點，6 點以上另議
　6. 相對照度檢測 每件 基本 5000 元，量測 3 點，3 點以上另議

（四）電子顯微鏡 FESEM

服務項目 計算單位 金額
　1. S-4300 型 SEM 觀察 每小時 1500–2000 元
　　　　　　SEM 照相 每檔 30 元
　　　　　　臨界乾燥點 每次 三小時內收 1000 元，超過三小時部分每小時加收 300 元
　　　　　　鍍黃金膜 每次 1000 元
　　　　　　鍍白金膜 每次 1000 元
　　　　　　鍍碳膜 每次 800 元

（五）機械元件加工與檢測

服務項目 計算單位 金額
　1. 機械元件設計與加工 每案 現場洽談
　2. 三次元量床 每小時 1500–2500 元
　3. 顯微量測系統 每小時 1000–2000 元
　4. 真圓度量測儀 每小時 1000–2000 元

（六）奈米技術服務

材料：Ni、Cu、Ni-Co，每片 < 300 µm，10000–14000 元，每增加 100 µm，2500 元
校驗服務項目 計算單位 金額
　1. 電子束曝光系統
　　Raith 50 E-Beam System		 每小時 學術單位 4500 元/小時
營利單位 6000 元/小時
　2. 聚焦離子束系統
　　FEI Nova 200 FIB System		 每小時 5000 元 (不含氣體)，每小時 7000 元 (含白金氣體使用費)
　3. UV 曝光機
　　Kark Suss Mask Aligner		 每片 AZ 光阻：學術單位 1100 元/片，營利單位 2000 元/片
SU-8 光阻：學術單位 1400 元/片，營利單位 2200 元/片
　4. 干涉儀
　　ZYGO Surface Profiler		 每小時 每小時 2000 元，圖每張 100 元
　5. 金相顯微鏡觀察照相 每小時 600 元，圖每張 100 元
　6. 準分子雷射
　　Exitech 7000 Laser Micromachining System		   前 30 分鐘 3000–4000元，超過 30 分鐘部份：
(1) 定點加工每 30 分鐘加收 3000 元
(2) 連續移動加工每 30 分鐘加收 5000 元
　7. 熱印壓模 HEX-01
　　Hot Embossing System		   開機費 5000 元，每 30 分鐘 1500 元
　8. 感應耦合電漿離子蝕刻
　　STS Multi-plex ICP		 每片 單片前 0.5 小時費用為 3500–7000 元，每增加 0.5 小時，費用 2500–5000 元
(蝕刻率 2 µm/每分鐘 及 0.5 小整數倍計算)。
　9. 精密電鑄系統
　　Electroforming System		 每片
※急件加收服務費之 50% – 100%。

(七) 真空薄膜鍍製

校驗服務項目 計算單位 金額
光學薄膜鍍製 每次 (run) 3000–4000 元 (單層金屬膜)
4000–5000 元 (單層金屬膜 + 保護膜)
5000–6000 元 (窄帶抗反射膜，2 層膜)
6000–7000 元 (寬帶抗反射膜，4 層膜)
9000–10000 元 (長波通濾光膜，20 層膜以下)
9500–10500 元 (短波通濾光膜，20 層膜以下)
9000–10000 元 (雷射反射膜，20 層膜以下)
7000–8500 元 (分光膜)
10000–11000 元 (帶通膜，20 層膜以下)
(最大口徑：300 mm，單次以 5 片計，每超過 5 片加收清潔及準備費 1000 元)
(E-Gun 鍍製)
鍍製氧化鋁、鋁、銅、鎳、
鉻、鈦、銀、氟化鎂膜		 每次 (run) 3000–4000 元 (膜厚 0–300 nm)
4000–4500 元 (膜厚 300–500 nm)
4500–5000 元 (膜厚 500–700 nm)
5000–5500 元 (膜厚 700–900 nm)
5500–6000 元 (膜厚 900–1100 nm)
(金屬膜上加鍍保護膜加收 1500 元)
(單次以 10 片計，每超過 10 片加收清潔及準備費 1000 元)
(E-Gun 鍍製)
鍍製金或白金膜 每次 (run) 3000–4000 元 (膜厚 0–200 nm)
4000–4500 元 (膜厚 200–300 nm)
4500–5000 元 (膜厚 300–400 nm)
5000–6000 元 (膜厚 400–500 nm)
6000–7000 元 (膜厚 500–600 nm)
7000–8000 元 (膜厚 600–700 nm)
8000–9000 元 (膜厚 700–800 nm)
9000–10000 元 (膜厚 800–900 nm)
10000–11000 元 (膜厚 900–1000 nm)
(單次以 10 片計，每超過 10 片加收清潔及準備費 1000 元)
(E-Gun 鍍製)
※ 1. 特殊規格薄膜製作費另議。
　 2. 急件每次加收 1000 元。

二、儀器委製委修、元組件委託加工 (針對學術、研究用途)

依個案酌收下列費用：

  1. 人員基本有效工時
  2. 工作人員差旅費
  3. 材料費
  4. 設計費
  5. 管理費：工料費 (上述四項費用加總) 之 15%

備註：

  1. 上述價格，皆為未稅價。
  2. 服務案件依收件先後順序處理，特急件加五成收費。
  3. 上列未述及之其他服務項目亦可接受委託研製及修護，價格核實計算。
  4. 委託服務請洽本中心對外服務窗口 03-5779911 #550。
  5. 本收費依實際狀況調整時，將在本心網站公告，不另通知。

三、借用研討會場地設施

場地名稱 機件設備名稱 容納人數 場地費 設備安排及
清潔維護等費用		 共計
大會議室
(階梯式)		 DVD
投影機
錄音設備
單槍投影機
CD 雷射唱機
有線、無線麥克風		 152 8500 元/日 4000 元 12500 元
訓練班教室 DVD
投影機
錄音設備
單槍投影機
無線麥克風		 54 4200 元/日 1800 元 6000 元
餐廳 無 40 2100 元/日 1800 元 3900 元

四、圖書館際合作服務

項次 項目 說明 價格
1 圖書外借 館藏偏重於光電、雷射、電子、機械、真空等領域，並含本中心各種出版品。 郵資每冊 100 元
2 資料影印 館藏資料之影印服務 每頁 3 元，每件加收服務費 20 元。

聯絡資訊：03-577-9911 #305 或洽 library@itrc.org.tw